Transition Metal Dichalcogenide MoS: oxygen and fluorine functionalization for selective plasma processing
تُظهر هذه الدراسة أن الوظيفية بالأكسجين والفلور، مقترنةً بدرجات الحرارة المبردة، تخفض بشكل كبير عتبة طاقة استئصال الكبريت في ثنائي كبريتيد الموليبدينوم (MoS) عبر تكوين نواتج متطايرة، مما يؤدي إلى توسيع نافذة طاقة الأيونات للإزالة الانتقائية للكالكوجين المتحكم بها من حيث الضرر في معالجة البلازما لثنائيات كالكوجينيدات المعادن الانتقالية.