Tuning of Atomic Layer Deposition Pulse Time through Physics-Informed Bayesian Active Learning
يقدم هذا المساهمة إطار عمل للتعلم النشط البايزي الموجه بالفيزياء يدمج نموذج لانغموير للامتزاز مع استراتيجية تقدير المعلمات ثنائية المرحلة لتحسين مدد النبضات في الترسيب بطبقات ذرية بشكل ذاتي وفعال، مما يحقق تقارباً أسرع، ودقة تنبؤ أعلى، وتقليلاً كبيراً في استهلاك السلائف مقارنة بالنهج التقليدية القائمة على البيانات.