High-Stress Si3N4 Reflective Membranes Monolithically Integrated with Cavity Bragg Mirrors
تقدم هذه الورقة استراتيجية تصنيع متجانسة وقابلة للتوسع تدمج أغشية نتريد السيليكون عالية الإجهاد مع عواكس براج الموزعة باستخدام تقنيات المعالجة الجافة، محققةً تجاويف ميكانيكية-ضوئية ذاتية المحاذاة ذات جودة بصرية وعوامل جودة ميكانيكية عالية، مع القضاء على اختناقات المحاذاة والاستقرار التي تعيب الطرق التقليدية.