Fabrication Optimization of Suspended Stencil Mask Lithography for Multi-Terminal Josephson Junctions
تعمل هذه الدراسة على تحسين تصنيع وصلات جوزيفسون متعددة الأطراف بشكل منهجي باستخدام تقنية الليثوغرافيا بالقناع الستنسلي المعلق، وذلك من خلال تقييم 270 تصميماً للقناع لتحديد العائد الموثوق، والأبعاد الدنيا التي تصل إلى 40 نانومتر، والارتباطات المتعلقة بعدد الأطراف.