Closed-loop control of a monolithically 3D nano-printed electromagnetic lens scanner with an integrated Hall sensor
تقدم هذه الورقة نظام تحكم مغلق الحلقة لماسح عدسة كهرومغناطيسية مطبوعة بتقنية النانو ثلاثية الأبعاد متجانسة، يستخدم مستشعر "هول" تجاري مدمج ومغناطيساً مجهرياً لتحقيق تحديد دقيق للمواقع من خلال القضاء بفعالية على التخلف المرن اللزج، والانجراف، والزحف دون الحاجة إلى خطوات تصنيع مجهري إضافية.