First Experimental Characterization of Plasma Parameters and Carbon Decontamination Rates in a Microwave Resonator Used in Particle Accelerators
이 논문은 입자 가속기용 초전도 공진기 내 플라즈마 매개변수를 랭뮤어 탐침으로, 탄소 제거율을 석영 결정 마이크로밸런스로 직접 측정하여 플라즈마 처리 공정의 효율성을 개선하기 위한 지침을 제시하고 기술적 과제를 논의합니다.