High-Strength Amorphous Silicon Carbide for Nanomechanics
تُفيد هذه الدراسة بتصنيع غشاء رقيق من كربيد السيليكون غير المتبلور بمقياس رقاقة، يتميز بقوة شد قصوى قياسية تتجاوز 10 جيجا باسكال وعوامل جودة عند درجة حرارة الغرفة تزيد عن 10^8، مما يضع معياراً جديداً للمستشعرات الميكانيكية النانوية عالية الأداء والتطبيقات الديناميكية.