Wafer-bonded symmetric four-terminal PZT/insulator/PZT MEMS bimorph actuator with near-ideal displacement superposition
تقدم هذه الورقة مشغلاً ميكانيكياً دقيقاً (MEMS) من نوع bimorph مكوناً من أربعة أطراف من PZT/عازل/PZT، يعتمد على تقنية الربط بالرقائق (wafer-bonded) وخالٍ من شريحة السيليكون (silicon-shim-free)، ويحقق تراكباً مثالياً تقريباً للإزاحة وتعزيزاً كبيراً في إزاحة الطرف من خلال تشغيل نشط-نشط متماثل دون عقد موصلة داخلية مشتركة.