Thermoelastic surface acoustic waves in low-loss silicon nitride integrated circuits
تُظهر هذه الورقة نهجاً مبتكراً للتعديل الأكوستو-بصري في الدوائر المتكاملة من نتريد السيليكون منخفضة الفقد عبر استخدام الموجات الصوتية السطحية المرنة حرارياً لتحقيق كفاءة عالية في تعديل الطور وتعديل الشدة دون الحاجة إلى التكامل الهجين مع المواد الكهروضغطية.