High Uniformity GaN Micro-pyramids and Platelets by Selective Area Growth
تتناول هذه الدراسة مسألة عدم التجانس المورفولوجي في الأهرامات المجهرية والصفائح من نتريد الغاليوم (GaN) النامية عبر تقنية الترسيب الكيميائي للبخار باستخدام المواد العضوية المعدنية (MOCVD)، وذلك من خلال تحديد أوجه القصور في عملية النمو أحادية الخطوة، وإثبات أن استراتيجية متعددة الخطوات محكومة تجمع بين النمو المتسلسل والمعالجة الحرارية تعزز بشكل كبير الانتظام الهيكلي للتطبيقات الإلكترونية الضوئية المتقدمة.