Passivation in Tunnel Oxide of Doped Polysilicon Structures Degraded by Spin-Dry Induced Charges and A Strategy to Reverse the Degradation
تكشف هذه الدراسة أن الشحنات الكهروستاتيكية المتولدة أثناء عملية التجفيف بالدوران تؤدي بشكل كبير إلى تدهور جودة التخميل لهياكل أكسيد النفق من البولي سيليكون المطعّم في الخلايا الشمسية السيليكونية، ولكن يمكن عكس هذا الضرر بفعالية من خلال تنفيذ بروتوكول تجفيف بالدوران محسّن يتضمن غمرًا قصيرًا في الماء منزوع الأيونات لمعادلة الشحنات المتراكمة.