High-Stress Si3N4 Reflective Membranes Monolithically Integrated with Cavity Bragg Mirrors
यह शोध पत्र एक स्केलेबल, मोनोलिथिक फैब्रिकेशन रणनीति प्रस्तुत करता है जो ड्राई प्रोसेसिंग तकनीकों का उपयोग करके डिस्ट्रिब्यूटेड ब्रैग रिफ्लेक्टर्स के साथ हाई-स्ट्रेस सिलिकॉन नाइट्राइड मेम्ब्रेन को एकीकृत करती है, जिससे उच्च ऑप्टिकल फिनेस और मैकेनिकल क्वालिटी फैक्टर्स वाले सेल्फ-अलाइन्ड ऑप्टोमैकेनिकल कैविटीज़ प्राप्त होती हैं और पारंपरिक विधियों की एलाइनमेंट और स्थिरता संबंधी बाधाओं को समाप्त किया जाता है।