Determination of the intrinsic mechanical quality factor in high-stress silicon nitride resonators
यह शोध पत्र उच्च-तनाव वाले सिलिकॉन नाइट्राइड रेज़ोनेटर में आंतरिक यांत्रिक गुणवत्ता कारक () को मापने के लिए एक सुदृढ़ कार्यप्रणाली प्रस्तुत करता है, जो अति-पतली झिल्लियों (मेम्ब्रेन) में एक व्यवस्थित मोटाई-निर्भर हानि को प्रकट करता है जो मौजूदा मॉडलों को चुनौती देता है और जिसे एक नए घटनात्मक ढांचे (फिनोमेनोलॉजिकल फ्रेमवर्क) द्वारा संबोधित किया गया है।