Transition Metal Dichalcogenide MoS: oxygen and fluorine functionalization for selective plasma processing
Lo studio dimostra che la funzionalizzazione con ossigeno e fluoro, unita al controllo della temperatura e dell'angolo di impatto ionico, amplia significativamente la finestra di energia per la rimozione selettiva dello zolfo dal MoS durante la lavorazione al plasma, preservando il reticolo metallico.