Impact of O concentration on the thermal stability and decomposition mechanism of (Cr,Al)N compared to (Ti,Al)N thin films
Questo studio rivela che, mentre l'incorporazione di ossigeno migliora significativamente la stabilità termica dei film di (Ti,Al)(O,N) inibendo la decomposizione, essa non ha tale effetto sui film di (Cr,Al)(O,N) poiché la loro decomposizione è innescata dalla rottura del legame Cr-N e dalla conseguente evaporazione dell'azoto, che crea lacune che facilitano un rapido trasporto di massa indipendentemente dal contenuto di ossigeno.