Compositional gradient engineering for enhanced ferroelectricity in ultrathin AlScN
Questo articolo dimostra che l'ingegneria del gradiente composizionale in film ultrasottili di AlScN mitiga le perdite e la scarica distribuendo le discontinuità strutturali, consentendo così uno switching ferroelettrico robusto in stack sottili quanto 5 nm con resistività e polarizzazione significativamente aumentate rispetto ai corrispondenti omogenei.