Fabrication and Characterization of Ferrite Nanoparticles on Porus Silicon for Gas Sensor Applications
본 연구는 화학적 스프레이 증착법을 통해 다공성 실리콘 상에 나노입자를 성공적으로 제조 및 특성화하였음을 보고하며, 전구체 농도를 높일수록 결정 크기가 감소하고 가스 센서의 민감도가 최대 27.08까지 향상됨을 입증함으로써 고성능 센싱 응용 분야를 위한 해당 물질의 생존 가능성을 확인하였다.