Atom Probe Tomography as an Emerging Tool for Understanding Defect-driven Mechanisms in HfO-based Ferroelectrics
본 관점 논문은 기존 구조 분석 기술의 한계를 해결하기 위해, HfO 기반 강유전체의 성능과 신뢰성을 지배하는 복잡한 결함 유도 메커니즘을 규명할 수 있는 핵심적인 3차원 원자 규모 분석 도구로서 원자 프로브 단층 촬영(APT)의 도입을 옹호한다.