SPARSE -- Efficient High-Resolution SEM Imaging of Rare Microstructural Features Across Large Areas by Selective Rescanning
본 논문은 넓은 영역에 걸친 희귀 미세구조 특징의 고해상도 주사전자현미경 이미징에 필요한 획득 시간을 크게 단축하기 위해 빠른 초기 스캔과 식별된 관심 영역의 선택적 재스캔을 결합하는 2 단계 방식을 적용한 오픈소스 파이썬 프레임워크인 SPARSE 를 소개합니다.