Tuning of Atomic Layer Deposition Pulse Time through Physics-Informed Bayesian Active Learning
본 논문은 랭뮤어 흡착 모델과 2 단계 파라미터 추정 전략을 통합하여 원자층 증착 펄스 시간을 자율적이고 효율적으로 조정함으로써 표준 데이터 기반 접근법보다 더 빠른 수렴, 더 높은 예측 정확도, 그리고 현저히 감소된 전구체 사용량을 달성하는 물리 정보 기반 베이지안 능동 학습 프레임워크를 소개한다.