Reducing TLS loss in tantalum CPW resonators using titanium sacrificial layers
저자들은 탄탈룸 박막 위에 초박형 티타늄 희생층을 증착하는 것이 고유 산화물 계면을 화학적으로 환원시키는 고체 상태의 산소 게터 역할을 한다는 것을 입증하였으며, 이후 이를 제거함으로써 처리되지 않은 소자 대비 3배 향상된 150만 이상의 내부 품질 계수를 갖는 탄탈룸 코플래너 도파로 공진기를 얻을 수 있음을 보여주었다.