Textured Si Wafer-Assisted Fabrication of Stretchable Platinum Nanotube Network Electrodes for Flexible Piezoelectric Devices
본 연구는 기존 금속 박막의 기계적 한계를 극복하여 100% 변형률까지 전기 전도성을 유지하고 고성능 유연 압전 소자를 가능하게 하는, 신축성 있는 백금 나노튜브 네트워크 전극을 위한 질감이 있는 Si 웨이퍼 보조 제작 방법을 제시한다.