Design and Modeling of a Novel Two-Movable-Plate RF-MEMS Switch for Low Actuation Voltage and Fast Switching
본 논문은 이중 플레이트 구성과 미앤더형 빔을 활용하여 2.29 V의 낮은 풀인 전압과 22.8 µs의 빠른 스위칭 시간을 동시에 달성하고, 해석적 모델링, 전기기계적 시뮬레이션 및 18 GHz에서의 RF 성능 분석을 통해 검증된 새로운 2-가동 플레이트 RF-MEMS 직렬 스위치를 제시한다.