A Statistical Framework for Laser-Induced Subsurface Modification and Cracking in 4H-SiC
본 논문은 와이블 분석(Weibull analysis)과 형태학적 특성화를 이용한 확률론적 통계 프레임워크를 구축하여 4H-SiC에서 하부 표면 변형에서 안정적인 균열로의 전이를 매핑하고, 재현 가능한 레이저 슬라이싱 공정 윈도우를 정의하기 위한 핵심 파라미터로서 펄스 피치(pulse pitch)를 식별한다.