A kinetic-moment framework for electron energy dynamics in capacitively coupled plasmas: absorption, conversion, transport, and dissipation
本文提出了一种基于 PIC/MCC 模拟的动力学矩框架,用于定量描述低压电容耦合等离子体中的电子能量动力学,揭示了电子在鞘层中获得定向动能,通过压力-应变相互作用和碰撞将其转化为热能,并将其非局部地传输至体区由非弹性碰撞进行耗散,同时证明了热通量显著偏离傅里叶定律。