🔬 物理学

Kinetic Mechanism for Fabricating HWCVD Silicon Nitride Films Regulated by Hot-Wire Current and Substrate Temperature

本研究调查了热丝化学气相沉积制备氮化硅薄膜的动力学机制,揭示了 32A 的热丝电流能够优化光学特性与表面质量之间的平衡,而 200°C 的基底温度能使折射率和钝化性能达到最大化,且较高的温度会诱发热应力,从而导致薄膜密度和光学特性的退化。

Tao Zhang, Xiangjie Yang, Huifang Wu, Haibin Huang, Yudi Hu, Caifang Li2026-08-13
🔬 物理学

Initiation of Energy Exchange Reactions in Supersonic Clustered Jets of Pure Methane and Its Mixtures With Noble Gases

本研究通过三种不同的电离方法,调查了纯甲烷及其与惰性气体混合物在超音速射流中能量交换反应的启动及团簇形成过程,揭示了尽管氦气会阻碍冷凝且质量判别存在挑战,但在喷嘴扩散器中进行放电是研究电子激发冷凝及优化烃类合成条件最有效的方法。

V. E. Khudozhitkov, A. E. Zarvin, V. V. Kalyada2026-08-13