AI-assisted Human-in-the-Loop Web Platform for Structural Characterization in Hard drive design
Diese Arbeit stellt ein webbasiertes, KI-gestütztes Human-in-the-Loop-System vor, das die automatische und adaptive Charakterisierung von Schichtdicken und Grenzflächenrauheit in Halbleiterstrukturen mittels STEM-Bildern ermöglicht, indem es maschinelles Lernen mit manueller Korrektur verbindet, um präzise und skalierbare Metrologie-Workflows für die Fertigung zu gewährleisten.