Maskless Electron Beam-Induced Etching of Diamond in Air: A Secondary Electron-Driven Mechanism
Die Studie beschreibt einen maskenfreien, sekundärelektronengesteuerten Ätzprozess für Diamant in Luft, der durch die direkte Wechselwirkung von Elektronen mit Gasen hochpräzise Nanostrukturen ohne Lithographie oder Plasmaverarbeitung ermöglicht.