Evidence of Micron-Scale Ion Damage in (010), (110), and (011) Epitaxial Layers
Die Studie zeigt, dass Ionenbeschädigungen durch Sputtern oder ICP-Ätzen in -GaO-Epitaxieschichten zu einer orientierungsabhängigen, bis zu 11,5 m tiefen Ladungsdepletion in den (010)-, (110)- und (011)-Orientierungen führen, während die (001)-Orientierung weitgehend unbeeinflusst bleibt.