Physical Properties and Thermal Stability of Zirconium Platinum Nitride Thin Films
Die Studie zeigt, dass ternäre Zirkonium-Platin-Nitrid-Dünnschichten metastabil sind, bei denen Platin den Stickstoff im Gitter ersetzt, die metallischen Eigenschaften überwiegt und bereits bei geringen Konzentrationen eine Reaktion mit dem Silizium-Substrat auslöst, was im Gegensatz zu reinem ZrN steht.