Transition Metal Dichalcogenide MoS: oxygen and fluorine functionalization for selective plasma processing
Die Studie zeigt, dass durch Sauerstoff- und Fluor-Funktionalisierung sowie kryogene Temperaturen die Schwelle für die selektive Schwefelentfernung aus MoS₂ mittels Niedertemperaturplasma signifikant gesenkt wird, wodurch eine präzise und schadensarme Bearbeitung von Übergangsmetall-Dichalkogeniden ermöglicht wird.