Titanic overconfidence -- dark uncertainty can sink hybrid metrology for semiconductor manufacturing
Die Studie warnt davor, dass die Überbewertung der Zuverlässigkeit hybrider Metrologie in der Halbleiterfertigung durch das Ignorieren von „dunkler Unsicherheit" zu einer gefährlichen Unterschätzung der Gesamtfehlerquote führt, und plädiert für statistische Modelle, die inkonsistente Messergebnisse angemessen berücksichtigen.