Low-loss Nb on Si superconducting resonators from a dual-use spintronics deposition chamber and with acid-free post-processing
Diese Arbeit zeigt, dass hochwertige, verlustarme Niob-Supraleiter-Resonatoren durch den Einsatz eines säurefreien Resist-Stripping-Verfahrens in einer gemeinsam mit magnetischen Materialien genutzten Dual-Use-Kammer gefertigt werden können, welches interne Qualitätsfaktoren nahe einer Million erreicht und somit die Integration von supraleitenden und magnetischen Systemen ermöglicht, ohne die Leistungsfähigkeit der Bauteile zu beeinträchtigen.