High-Stress Si3N4 Reflective Membranes Monolithically Integrated with Cavity Bragg Mirrors
Diese Studie stellt eine monolithische Integrationsstrategie vor, die hochspannungsspannte Si3N4-Membranen direkt über thermisch kompatiblen Bragg-Spiegeln suspendiert, um skalierbare optomechanische Resonatoren mit hoher mechanischer und optischer Qualität ohne komplexe Ausrichtung zu realisieren.