A scalable non-superconducting tunnel junction technology
Los autores presentan una tecnología escalable y compatible con CMOS de uniones de túnel no superconductoras basada en una aleación de TiW y barreras de AlOx, que permite la fabricación a escala de oblea y un rendimiento robusto a temperaturas criogénicas para su integración en sistemas cuánticos y nanoelectrónicos.