White-Light Spectral Interferometry for Thin-Film Thickness and Group-Index Dispersion Metrology
Este artículo presenta un marco teórico y de simulación unificado para la interferometría espectral de luz blanca que permite la medición de alta precisión, sin escaneo, del espesor de películas delgadas (con una precisión de 0.2 nm) y de la dispersión del índice de refracción de grupo utilizando una configuración de espectrómetro de fibra óptica única.