Reducing TLS loss in tantalum CPW resonators using titanium sacrificial layers
Los autores demuestran que el depósito de una capa de sacrificio de titanio ultradelgada sobre películas de tantalio actúa como un captador de oxígeno en estado sólido para reducir químicamente la interfaz del óxido nativo, la cual es posteriormente eliminada para obtener resonadores de guía de onda coplanar de tantalio con factores de calidad internos que superan los 1.5 millones, lo que representa una mejora de tres veces respecto a los dispositivos no tratados.