A modular active learning framework for autonomous atomic layer deposition
यह शोध पत्र एक क्लोज्ड-लूप ऑटोनॉमस प्लेटफॉर्म प्रस्तुत करता है जो एक स्वचालित PE-ALD टूल, इन सीटू (in situ) लक्षण वर्णन, और एक गॉसियन प्रोसेस-आधारित एक्टिव लर्निंग फ्रेमवर्क को एकीकृत करता है जो TiO2 जमाव के लिए उच्च-आयामी संश्लेषण-गुण संबंधों को कुशलतापूर्वक मैप करता है, जो प्रेडिक्टिव सटीकता में रैंडम सैंपलिंग से काफी बेहतर प्रदर्शन करता है और बहुत कम प्रयोगों के साथ लक्षित प्रक्रिया अनुकूलन को सक्षम बनाता है।