A kinetic-moment framework for electron energy dynamics in capacitively coupled plasmas: absorption, conversion, transport, and dissipation
Questo articolo propone un framework di momento cinetico basato su simulazioni PIC/MCC per descrivere quantitativamente la dinamica dell'energia elettronica nei plasmi accoppiati capacitivamente a bassa pressione, rivelando che gli elettroni acquisiscono energia cinetica diretta nella guaina, la convertono in energia termica attraverso interazioni pressione-deformazione e collisioni, e la trasportano in modo non locale verso il bulk dove viene dissipata da collisioni inelastiche, dimostrando al contempo che il flusso di calore devia significativamente dalla legge di Fourier.