White-Light Spectral Interferometry for Thin-Film Thickness and Group-Index Dispersion Metrology
Questo articolo presenta un quadro teorico e di simulazione unificato per l'interferometria spettrale a luce bianca che consente la misurazione ad alta precisione, senza scansione, dello spessore di film sottili (con un'accuratezza di 0,2 nm) e della dispersione dell'indice di rifrazione di gruppo utilizzando una singola configurazione con spettrometro a fibra ottica.