A Statistical Framework for Laser-Induced Subsurface Modification and Cracking in 4H-SiC
Questo articolo stabilisce un quadro statistico probabilistico utilizzando l'analisi di Weibull e la caratterizzazione morfologica per mappare la transizione dalla modifica del sottosuperficie alla fessurazione stabile nel 4H-SiC, identificando il pitch dell'impulso come il parametro critico per definire finestre di processo di taglio laser riproducibili.