A kinetic-moment framework for electron energy dynamics in capacitively coupled plasmas: absorption, conversion, transport, and dissipation
本論文は、低圧容量結合プラズマにおける電子エネルギーダイナミクスを定量的に記述するためにPIC/MCCシミュレーションに基づく運動モーメント・フレームワークを提案し、電子がシース内で指向性を持つ運動エネルギーを獲得し、圧力歪み相互作用と衝突を通じてそれを熱エネルギーへと変換し、さらに非局所的にバルクへと輸送して非弾性衝突によって散逸させる過程を明らかにするとともに、熱流束がフーリエの法則から著しく逸脱することを実証している。