Diffusion-based Generative Machine Learning Model for Predicting Crack Propagation in Aluminum Nitride at the Atomic Scale
이 논문은 분자 동역학 시뮬레이션의 높은 계산 비용을 극복하고 반도체 신뢰성 최적화를 위해, 초기 미세구조 임베딩만을 조건으로 사용하여 질화알루미늄 (AlN) 의 원자 수준 균열 전파를 물리적 정확도로 빠르게 예측하는 확산 기반 생성 머신러닝 모델을 개발하고 검증했습니다.