Revealing Phonon Bridge Effect for Amorphous vs Crystalline Metal-Silicide Layers at Si/Ti Interfaces by a Machine Learning Potential
본 논문은 신경진화 퍼텐셜 (NEP) 을 기반으로 한 머신러닝 전위 모델을 개발하여 Si/Ti 계면의 열전도 특성을 규명하고, TiSi2 박막의 두께에 따른 비정질 및 결정질 층의 열전달 효율 변화와 TiSi2 의 상 (C54 대 C49) 에 따른 열경계저항 차이를 분자 동역학 시뮬레이션과 실험을 통해 체계적으로 분석했습니다.