Mechanical and Interfacial Properties Characterization of Physical Vapor Deposited Metallic Films after Rapid Thermal Annealing
본 연구는 급속 열처리 온도가 물리 기상 증착된 알루미늄 및 구리 박막의 기계적 특성, 계면 접착력 및 미세 구조 진화에 미치는 영향을 조사하며, 열처리가 경도와 탄성 계수를 감소시키는 반면 결정립 성장과 표면 형상 변화를 통해 접착 강도를 향상시킬 수 있음을 밝힘으로써 반도체 응용 분야의 공정 파라미터 최적화를 위한 핵심적인 통찰을 제공한다.