고도화된 통신 및 센싱 수요: 차세대 무선 통신 및 정밀 센싱을 위해 100GHz 이상의 서브 테라헤르츠 (Sub-THz) 대역의 고집적 트랜시버 개발이 필수적입니다.
온칩 안테나의 한계: 온칩 안테나를 구현할 때 저저항 실리콘 기판 (Low-resistivity Silicon) 에서 발생하는 높은 오믹 손실 (Ohmic loss) 과 얇은 금속 층 (CMOS 스케일링에 따른) 으로 인해 효율과 이득이 급격히 저하됩니다.
소형화 vs 성능 트레이드오프: 시스템의 소형화와 비용 절감을 위해 안테나 크기를 줄이면, 대역폭 (Bandwidth), 이득 (Gain), 효율 (Efficiency) 을 유지하기가 매우 어렵습니다. 특히 기존 기술들은 대역폭이 좁거나 면적이 크다는 단점이 있었습니다.
2. 방법론 (Methodology)
기술 프로세스: TSMC 의 16nm FinFET (N16HPC) 공정 기술을 사용하여 단일 층 (Single-layer) 안테나를 설계 및 제작했습니다.
구조적 설계 (Dual-Slot Structure):
기반: 제한된 그라운드 평면 (Ground Plane) 을 고려한 '이중 슬롯 (Dual-slot)' 구조를 채택했습니다.
피딩 (Feeding): 공정 모델의 불확실성을 고려하고 명확한 전류 반환 경로를 확보하기 위해 공평면 도파관 (Co-planar Waveguide, CPW) 피딩 방식을 사용했습니다.
손실 완화: 가장 두꺼운 고전도성 금속 층 (M9) 을 안테나 본체에 사용했고, M1~M8 층은 밀도 요구사항을 충족시키기 위해 더미 금속 (Dummy metal) 으로 채웠습니다. 더미 금속 층의 영향을 정확히 모델링하기 위해 유효 유전체 층 (Artificial dielectric layer) 개념을 도입하여 시뮬레이션 비용을 절감했습니다.
설계 최적화 단계 (4 단계):
Stage 1: 기본 슬롯 다이폴 (Slot dipole) 과 충분한 그라운드 평면으로 기준 성능 확보.
Stage 2: 지향성 (Directivity) 향상을 위해 '지휘자 (Director)' 요소 추가. 2 차 공진으로 대역폭 확장.
Stage 3: 지휘자 일부를 개방하고 그라운드 평면 크기를 축소하여 면적 효율성 극대화. 2 차 공진을 고주파로 이동시켜 대역폭 추가 확장.
Stage 4: 주파수 간격에서의 임피던스 정합을 개선하기 위해 정사각형 튜닝 요소 추가. 2 차 슬롯의 복사 특성을 변경하여 최종 대역폭 및 정합 최적화.
3. 주요 기여 (Key Contributions)
초소형 초광대역 안테나 구현: 290 GHz 대역에서 39% 의 임피던스 대역폭을 달성하면서도 물리적 크기를 **0.24λ₀ × 0.42λ₀ (약 0.24mm × 0.42mm)**로 극도로 소형화했습니다.
저손실 기판에서의 고효율 달성: 저저항 실리콘 기판 (10 S/m) 에서 **최대 42% 의 방사 효율 (Radiation Efficiency)**을 기록했습니다. 이는 기존 저저항 기판 기반 온칩 안테나 대비 매우 우수한 수치입니다.
직접성 확보: 290 GHz 에서 **7 dBi 이상의 직접성 (Directivity)**을 확보하여, 서브 테라헤르츠 대역의 높은 자유 공간 감쇠를 극복할 수 있는 성능을 입증했습니다.
단일 층 설계의 실용성: 복잡한 다층 구조 없이 단일 금속 층 (M9) 만을 사용하여 제조 공정의 복잡성을 줄이고 실리콘 기반 트랜시버와의 원활한 통합을 가능하게 했습니다.
4. 결과 (Results)
시뮬레이션 및 측정:
대역폭: 290 GHz 중심 주파수에서 약 114 GHz (약 39%) 의 광대역 특성을 보였습니다.
효율: 275 GHz 부근에서 최대 42% 의 효율을 달성했으며, 실리콘 기판의 전도성으로 인해 고주파로 갈수록 효율이 감소하는 경향을 보였습니다.
방사 패턴: 290 GHz 에서 측정된 방사 패턴은 시뮬레이션과 잘 일치했으며, PCB 하단의 금속 패들이 반사체 역할을 하여 약간의 빔 틸트 (Beam tilt) 가 발생했으나 전체적인 성능은 우수했습니다.
기존 기술 대비 성능 (Table III 비교):
기존 연구들 (InP, SiGe, GaN 등) 과 비교했을 때, **더 작은 면적 (0.24×0.42 mm²)**에서 **더 넓은 대역폭 (39%)**과 **충분한 이득 (7.0 dBi)**을 동시에 달성하여 State-of-the-art 수준을 입증했습니다.
5. 의의 및 결론 (Significance)
이 논문은 저저항 실리콘 기판과 얇은 금속 층이라는 제약 조건 하에서도 고성능을 발휘하는 온칩 안테나 설계의 새로운 기준을 제시했습니다. 특히 면적 (Area) 과 대역폭 (Bandwidth) 의 최적화를 통해, 차세대 초고속 무선 통신 (6G 이상) 및 고해상도 레이더 시스템에 필요한 소형화, 저비용, 고집적 트랜시버 솔루션을 실현 가능하게 했습니다. 제안된 안테나 구조는 향후 온칩 통합 시스템의 성능 한계를 극복하는 데 중요한 기여를 할 것으로 기대됩니다.