Room Temperature RF Sputtering of Mixed Ionic and Electronic Conductor Nd2Ni0.8Cu0.2O4+d films
Dit onderzoek toont aan dat Nd2Ni0.8Cu0.2O4+δ-films, die geschikt zijn als kathodes voor Solid Oxide Fuel Cells, succesvol kunnen worden gefabriceerd via kamertemperatuur RF-sputtering met een enkel doelwit, waarbij een hoge sputtervermogensdichtheid cruciaal is voor het vormen van de gewenste Ruddlesden-Popper-fase en het behalen van de juiste samenstelling.