A kinetic-moment framework for electron energy dynamics in capacitively coupled plasmas: absorption, conversion, transport, and dissipation
Dit artikel stelt een kinetisch-momentenkader voor op basis van PIC/MCC-simulaties om de elektronische energiedynamiek in laagdrukcapacitief gekoppelde plasma's kwantitatief te beschrijven, waarbij wordt onthuld dat elektronen gerichte kinetische energie winnen in de sheath, deze via druk-vervormingsinteracties en botsingen omzetten in thermische energie, en deze niet-lokaal transporteren naar de bulk waar het wordt gedissipeerd door inelastische botsingen, terwijl tegelijkertijd wordt aangetoond dat de warmteflux significant afwijkt van de wet van Fourier.