Low-loss Nb on Si superconducting resonators from a dual-use spintronics deposition chamber and with acid-free post-processing
Dit artikel toont aan dat hoogwaardige, verliezensarme niobium supergeleidende resonantoren kunnen worden gefabriceerd in een kamer voor dubbel gebruik die wordt gedeeld met magnetische materialen door een zuurvrij resist-strip-proces toe te passen dat interne kwaliteitsfactoren van bijna één miljoen bereikt, waardoor de integratie van supergeleidende en magnetische systemen mogelijk wordt zonder de prestaties van het apparaat aan te tasten.
Maciej W. Olszewski, Jadrien T. Paustian, Tathagata Banerjee, Haoran Lu, Jorge L. Ramirez, Nhi Nguyen, Kiichi Okubo, Rohit Pant, Aleksandra B. Biedron, Daniel C. Ralph, Christopher J. K. Richardson, G (…)2026-06-04🔬 cond-mat.mtrl-sci