Small-Data Machine Learning Uncovers Decoupled Control Mechanisms of Crystallinity and Surface Morphology in β-Ga2O3 Epitaxy
Este estudo apresenta um framework de aprendizado de máquina com poucos dados que, ao utilizar regressão polinomial quadrática e análise SHAP em um ciclo fechado de otimização, descobre mecanismos de controle desacoplados para a cristalinidade e morfologia superficial de filmes finos de β-Ga2O3, permitindo a obtenção de filmes de alta qualidade com o menor valor de FWHM já relatado para epitaxia por deposição a laser pulsado.
Min Peng, Yuanjun Tang, Dianmeng Dong, Yang Zhang, Cheng Wang, Shulin Jiao, Xiaotong Ma, Shichao Zhang, Jingchen Wang, Huiying Wang, Yongxin Zhang, Huiping Zhu, Yue-Wen Fang, Fan Zhang, Zhenping Wu2026-03-24🔬 cond-mat.mtrl-sci